EZ-Japan BLOG since 2017

EZ-Japanブログは、真・MFC千夜一夜物語という流体制御機器=マスフローコントローラ(MFC)の解説記事をメインに、闘病復帰体験、猫達との生活が主なコンテンツです

最近の若いマスフローの営業は・・・

はい、久しぶりのDecoの言いたい放題”マスフロー徒然日記”です。


Decoもデビューして二十数年、気が付くと「最近のマスフローの営業はたるんどるよ」等とジジイ臭い独り言を言ったりするようなったのですが、「一線から離れたロートルが、偉そうに何言ってんだかw」と笑い飛ばしておいてください。

先週末、知り合いと昔話をする機会がありまして、そこで思ったのですが、
「最近の若いマスフローの営業は・・・正直大変です。」

Decoが若いころは、マスフローのマの字もわからず、お客さんのところに飛び込んだものでした。
なにせ眠くなる質量流量だの、PID制御だの、WF6だの色んな知識をざーーっと座学しただけですから、お客様との会話はちんぷんかんぷんです。

「お前なんか、俺と話すのは10年早い!」

と怒鳴られて、しょぼくれて帰った記憶を思い出します。
(悪いのはDecoなんです。何もわからず液晶工場でWF6の話をしてしまったのですから・・・)

当時は半導体メーカー(エンドユーザー)には熱いハートの(こわい)技術さんが多くおられました。
各半導体工場の設備技術やプロセス技術には、

「俺を通さずに、この工場にMFCを採用してもらえると思うな!」

という、ゲームで言うところのボスキャラがおられたのです。

「俺の前でプレゼンを最後までやり遂げることができた奴は、今までほとんどいない。」

もう完全に脅しwを食らって、ビビりながら説明をしたこともありました。

でも、皆さん優しかったのです。
当時の半導体工場の技術さんは、皆さん多忙な毎日を送っておられました。
MFCメーカーの新人営業マンに、貴重な時間をさけるようなそんな暇な人は一人もいなかったはずなのに、皆さんDecoの拙い説明に付き合ってくださいました。
そして、ダメ出しをしてもらい、もう一度出直すことになるのですが、何度も繰り返した後である日・・

「少しはできるようになったじゃないか・・・」

と、ジャブローでアムロのガンダムと再戦したシャア大佐みたいなセリフをかけてくれたのです。
うれしかったですね。
よし、もっと頑張ろう!と、初回しょげて帰った道をルンルンで帰った記憶が今でも残っています。

Decoのデビューした時代は、お客様が先生になっていただける幸せな時代でした。
自社の社員だけでなく、業界の人間の底上げを真摯に考えて頂いていた諸先輩方がおられたからです。

でも、今の時代は違うとよく聞かされます。
半導体製造装置の技術も確立し、お客様もMFCそのものへの関心が低下しているこの時代に、時間を割いてよその会社の人材育成に手を貸すような人は少ないですし、ましてや社内外のハラスメントに対する対応や、コンプライアンスを強く求められる世の中なのです。

今の日本は「触らぬ神に祟りなし・・・」になっている気がします。

だから、
「最近の若いマスフローの営業は・・・正直大変です。」

身体を壊したこともあり、メーカーサイドでの貢献ができなくなったDecoなのですが、お世話になった業界に少しでも恩返しをしたくて、”MFC千夜一夜物語”という世にも珍しいマスフロー専門ブログを書き始めました。
次世代の人たちに少しでも役に立てばなぁ・・・と思っています。

「一線から離れたロートルはさっさと引っ込め!」
と、後進に言ってもらえる日が早く来ますように・・・

マスフロー徒然日記 by Deco EZ-Japan


新年のご挨拶&真・MFC千夜一夜物語 第267話 コンバージョンファクターは1つではない その4


2019年 亥年 新年あけましておめでとうございます。
皆様、いかがお過ごしでしょうか?

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本年もマスフローコントローラ(MFC)&マスフローメーター(MFM)に関する記事を定期的にアップしていきたいと思っております。
どうぞ当ブログを宜しくお願いいたします。


2019
年一回目の更新は、真・MFC千夜一夜物語 で、ラスボスCFとの戦いの第4回目をお届けします。

 

CFへの流量レンジ影響

 第4回目ではマスフロー(MFC&MFMの総称)の流量レンジを変えることでのCFへの影響を確認してみましょう。

ブロンコスト社(Bronkhorst High-Tech B.V.で、流体をアルゴンガスの 大流量MFMモデルでF-113AC-1M0を選定して、このモデルの流量下限フルスケールのFS600SLMと、上限のFS2500SLMを選んでみました。
それぞれ空気換算すると400SLM1670SLMです。
ブロンコスト社で大流量モデルはコンプレッサーエアーが基準流体になります。
この流量レンジで純度の高い窒素ガスを校正用にドバドバとはは使いたくないですよね。
両レンジでCFが大きく変化しているのが下図でわかります。

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600SLMでのCF1.422100FS、ところが2500SLMでは1.562100FSです。
興味深いのは、FS2500SLMモデルの 250SLM10FSでのCF1.404であることです。600SLMモデルの同じ流量ポイントとなる250SLM41.7FSで計算するとやはり1.404なのです。
CF
の変化はアルゴンの流量レンジが大きくなるにつれ、1.4221.568と大きな値に変化していきます。

今度は流体を変えて水素で見てみましょう。(下図)
ここでまた不思議な現象が確認されます。

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水素ではアルゴンと逆の現象が起きるのです。
モデルの最小レンジであるFS400SLMでのCF0.9766100FS、これが最大レンジであるFS1400SLMでは、なんと0.8735100FSとなっています。
アルゴンとは逆に流量レンジが大きくなるにつれ、CF0.97660.8735と小さくなってしまうのです。

実はDecoはこのマルチCFの罠にしっかり嵌って、失敗をしたことがあります。
なまじっか経験が長い為に、“空気と水素のCFは、ほぼ近似していて1である。”というシングルCF時の知識で、「空気換算1670SLMF-113AC-1M0が作れるのだから水素も同じはず・・・」とFLUIDATで確認せずに顧客仕様を決めてしまったことがありました。
蓋を開けたら0.8735倍の1459SLMしか流れないわけで、平謝りして納入前に流量レンジをFS1400SLMに下げてもらったのです。
まさに“生兵法は怪我の元”ですね?お恥ずかしい限りです。

 

今回の比較で興味深いのは、アルゴンも水素も25FS程度の低流量域から100%FSまで大きくCFが曲がっていることです。
これは巻線式センサーで分流構造をとるマスフローにはつきまとう“分流比”の変動が要因と考えられます。
一般的な巻線型のマスフローで採用されている熱式センサーは、測定対象である流体を全量測っているわけではありません。
流量センサーに流れるのは510ml/min程度の流量であり、残りはすべて層流素子(バイパス)部を流れるように設計されています。
これはセンサー管内の流れを層流で維持する為であることは、今までの連載で何度か解説しましたね?

ここで問題になるのは、このセンサー管と層流素子の分流比率です。
その分流比率は、どんな場合でも一定にはならないのです。
高圧から真空(subatmosphericレベル)までの圧力条件、微小流量から大流量までの流量レンジで一定の分流比の維持は難しいのです。
また、ガス種により、アルゴン、二酸化炭素のような重いガス、水素のような軽いガスでは、自ずと校正に使用する基準ガスである窒素や空気とは異なってきてしまうのですね。

 

【あなたにMFCの夜が来る~真・MFC千夜一夜物語】by Deco EZ-Japan


2018年末に当たって~年末年始休業のご案内

2018年も最後の更新となりました。
今年もお会いした読者の方々から、「ブログ読んでます!」「計測技術、楽しみにしてます!」というお声に力を頂けました。
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年内最後の 日本工業出版(株)計測技術 1月号のマスフロー千夜一夜物語~質量流量計の基礎~ は、特殊記事との兼ね合いで休載です。
原稿執筆は既に51回まで脱稿していますので、来年の2月号以降をお楽しみに!

EL-FLOW Prestige application
<出典:ブロンコスト・ジャパン(株)>

日本の半導体製造最盛期にデビューして、マスフローの虎の穴のような環境で育ったDecoですが、そのせいか早い段階で身体を壊し、一度は生死の境に踏み入ってしまったこともありました。
拾った命をお世話になった業界に役立てたいと、”マスフローマイスター”、途中から更に”エヴァンジェリスト”を名乗り、EZ-Japanを開業してもう5年目です。
開業後は「ビジネスは常にフェアープレイ」を信条にやってきました。
お客様との関係は、互いにフェアに、互いに納得できるポイントを目指して、”勝ち組や負け組のない世界のビジネス”を来年以降も進めていきたいと思っています。

EZ-Japanは年末年始休暇として、12/29(土)~1/6(日)までお休みさせていただきますので、宜しくお願いいたします。

それでは、皆様、よいお年をお迎えください!

EZ-Japan Deco こと 黒田 誠

真・MFC千夜一夜物語 第266話 コンバージョンファクターは1つではない その3

もう一つのMFC千夜一夜物語が掲載されている日本工業出版さんの「計測技術」 201812月号(11/26発売)では、マスフローのゼロシフトに対するゼロ調整に関して解説しています。

本ブログと併せてお読み頂けましたら、幸いです。

 

さて、本物語のラスボスの一つCFの信憑性”との戦いの最中です

前回はCFへの温度影響を確認しましたが、今回は圧力影響に関してです。

Bronkhorst HIGH-TECH B.V.(以下ブロンコスト)WEBで提供しているFLUIDATonthe Net”(以下FLUIDAT) を使って今度は、ガスをアルゴンにして解説しましょう。

 
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上図ではアルゴンガス、FS100SCCMMFM での比較です。
今回は圧力条件(流体の供給圧)での比較となります。
マスフローの一般的な構造を下図に示しますが、ここでいう圧力は流量センサー管にかかる圧力になるので、一次圧のことを言い、MFCの際の二次圧や差圧は関係ありません。

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*以前、UNIT社とそのフォロワーにあったMFC二次側に流量センサーを置く=流量制御バルブ→流量センサーという特異なレイアウトのMFCにとっては、ここは二次圧となるのですが、これではセンサー管内の圧力がプロセスで変動しやすくなり、あまり好ましくなかったのではないかとDecoは思っています。)


0.1MPa
条件と、選定したMFMの圧力定格最大値である10MPaで比較してみましょう。
結果は0.1MPa1.387100FSという、我々マスフロー業界の人間としては、CF表で馴染みのあるアルゴンのCF1.4に近い値となったのですが、10MPaだと1.181100FSという驚きの数値となるました。
更に高い圧力でのCF変化を調べるべく、モデルを変えて定格40MPaまで耐えられるEL-FLOW F-131Mを選んでみます。

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上図にあるように、40MPaでのCF0.9587100FSと、これはもうアルゴンのCFとは思えない値まで下がっています。
前回の温度変化の影響よりも、気体が圧縮されることで密度が変化する圧力変化影響が非常に大きいのが見て取れます。

 

 「これほど極端な高圧条件でマスフローを使わないので問題ない。」というユーザーが当然多いと思います。
因みにMFM F-111B-100の真空10kPaA)での値は1.391100FSでした。
0.5MPa
での値は1.378100FS 0.8MPa1.371100FSですから、例え高圧=1MPa未満であるからといって、CFへの圧力影響が皆無ではないことを、頭に入れておいてくださいね。

 

【あなたにMFCの夜が来る~真・MFC千夜一夜物語】by Deco EZ-Japan

Holland High Tech Pavilion Seminar (オランダ ハイテク セミナー)

本日はセミコン・ジャパン2018 2日目です。
ブログも号外です!
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今回のオランダハイテクパビリオン(東ホール1 1602)の参加企業の一員として、ブロンコスト・ジャパン(株)さんの企業紹介がありますので、セミコン会場にお越しになるようでしたら、是非ご来場ください。

Holland High Tech Pavilion Seminar (オランダ ハイテク セミナー)

開催時刻:12/13(木) 15:00 ~15:50
  
セミナー会場:Tech SPOT WEST 東ホール1

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Decoは所用で参加できませんが、ご来場の方はふるってご参加の程、宜しくお願いいたします。

EZ-Japan MFC ニュース by Deco

EZ-Japan(イージージャパン)Deco こと 黒田です。 2014年6月開業です。流体制御機器マスフローコントローラーを中心に”流体制御関連の万(よろず)屋”として情報発信しています。 日本工業出版「計測技術」誌で”マスフロー千夜一夜物語”の連載中です。
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