EZ-Japan BLOG since 2017　真・MFC千夜一夜物語

Decoのマスフロー徒然日記です。
2023年も残り1か月を切りました。
皆さんあわただしく、お仕事や学業に励んでおられるのではないでしょうか？
年の瀬に申し訳ないのですが、徒然日記というか、少しDecoの愚痴に付き合って頂けますでしょうか？




実はDecoにとっての2023年は、知人との永久のお別れが続いた年でした。
Decoも年を取ってきたから当たり前なのですが、今年の特徴はDecoより若い方、または少し年上でもまだまだこれから元気に活躍されそうな方々が、次々と身罷ってしまわれた事です。

ガン、心臓疾患、お別れは突然やってきました。
少し前に普通に仕事の話をしていた人が、「来年は夫婦で遊びに行きますね！」と話していた方が、ある日突然この世からいなくなってしまわれました。

かくいうDecoも今までに二度、一過性脳虚血からの脳梗塞、心不全からの多臓器不全で命を落としかけていますが、ご承知のように不死鳥のように復活できました。
でも、それはやはり運によるものが大きかったのです。
病状の進行がもっと早かったら、よいタイミングで最適な医療対応を提供してもらえなかったら、どうなっていたかはわかりません。

なので、皆さん、身体は大事になさってください。
このブログを読んで頂いている皆さんは、研究心に富み、業務改善に熱心な方々だとDecoは推測しています。
でも、あまり根をつめすぎないで、自分の身体、家族の健康を振り返ってみてくださいね。
仕事は大事ですし、この先の世の中、お金を自分で稼いでおかないと不安だとは思います。
でも、命はもっと大事です。
貴方と貴方の大事な人、貴方を大事に思ってくれている人たちの為にも、貴方の身体に適度なお休みと適切な栄養、そして運動を与えてあげてくださいね。
Decoからのお願いです。
今回はMFCとは関係のないお話でしたが、それではまた！千夜一夜物語でお会いしましょう！

【Decoのマスフロー徒然日記】　by Deco　EZ-Japan

MFC千夜一夜物語のブログの中休み、閑話休題”Decoのマスフロー徒然日記”です。

さて、半導体製造装置向けMFCに関するご質問を最近よく頂きます。
TSMCの熊本進出やRapidusの千歳への投資等、半導体に関する話題が花盛りだからなのかもしれませんね。

でも、このMFC業界や半導体業界は、それ以外の業界の方々にとっては、わかりにくいのかもしれません・・・
Decoのように、ずっとお世話になていると、当たり前でしょ？と思っている事を質問されたりするので新鮮です。

「なぜ半導体製造装置では多くのMFCが使われているの？」という御質問がありました。
この答えはシンプルで、「半導体製造装置の一部では、MFCで流量制御するガスラインが多いから」なのです。
相変わらず身もふたもない回答をしてしまうDecoなのですが、いや、これこそが真実なのです。

半導体製造装置といっても、工程ごとに色んな装置が存在しています。
そして、その全てがMFCを使う訳ではありません。
エッチャー、CVD、拡散、スパッタといったところでしょう。
その中でもエッチャーは色んなガス種を使います。