2018年9月号（8/25発売)では、マスフローコントローラ(MFC)、マスフローメータ（MFM）の流量校正に関する解説です。
本ブログと併せてお読み頂けましたら、幸いです。
ブロンコスト・ハイテック（Bronkhorst
High-Tech B.V. 以下ブロンコスト）の防爆用＝危険場所用マスフローコントローラ（MFC）EX-FLOWにはATEX本質安全防爆構造MFCが存在します。
このMFCタイプのEX-FLOWは、見かけ上は一体型のMFCに見えても、MFCに必要な制御基板はそこにはありません。
本質安全防爆構造を採る故に、危険場所に電気エネルギーを極力供給しないようにするためです。
マスフローメータ（MFM 本質安全防爆構造の場合、正確には流量センサーのみなので、流量発信器）とコントロールバルブは、非危険場所に設置したPID制御基板を内蔵したバリア付き電源・リードアウトシステムE-8000に各々独立したケーブルで接続されることで、防爆構造流量測定＆制御ループが確立するようになっているます。
つまり、EX-FLOWのMFCタイプは、MFCのブロックの上にATEX本質安全防爆構造の流量発信器と、ATEX認証品コイルを採用したコントロールバルブを便宜上同居させているだけなのです。
外部から設定信号を受け、本体内の流量センサーから出力される流量信号と同値になるようコントロールバルブの制御を行う機能をワンパッケージ化したものがMFCならば、厳密にはMFCと言えないかもしれませんね。
必ずE-8000との組み合わせで本質安全ループを組まない限りは、意味が無いのです。
下図で本来のMFCの機能をどう分割しているかを、図示してみました。
ブロンコストのEX-FLOW＝ATEX本質安全防爆MFCシリーズは、前回連載で紹介したMFMと同じく、幅広い流量・圧力レンジへの対応が可能です。
＜ブロンコスト・ジャパン(株)HP EX-FLOWのページへ＞
本質安全防爆構造が求められる部分が流量センサーとソレノイドアクチュエーターコイルに絞られる為に、MFCのその他のメカ部分は従来品とほぼ同様です。
そのお陰で本質安全防爆構造でありながら、幅広い流量、特に大流量サイドでは、500m3n/h(n=ノルマル：0℃、1013hPa基準)という流量に対応できています。
ただし、前述のとおりあくまでATEX本質安全防爆構造であるために、いくら性能的にも仕様的にも優れた製品であっても、日本国内での防爆用途で使用することは難しいかもしれません。
この問題の解消の為のチャレンジが、”TIIS本質安全防爆認証”取得だったのですね。
【あなたにＭＦＣの夜が来る～真・ＭＦＣ千夜一夜物語】by Deco EZ-Japan
