【お知らせ】

今まで本ブログは、"EZ-Japan BLOG since 2017”と "真・MFC千夜一夜物語”@niftyココログ版の2つで同時連載進行を行って参りましたが、既に告知の通り2019/5/11をもって@niftyココログ版の方を終了させていただきました。こちらのブログ"EZ-Japan BLOG since 2017"版での連載は、変わらず続けて参りますので、どうか千夜一夜=1001話にたどり着く迄、宜しくお願い申し上げます。

 

もう一つのMFC千夜一夜物語が掲載されている日本工業出版さんの「計測技術」誌 20199月号(8/25発売)は、7月号から引き続き、マスフローコントローラー(MFC)、マスフローメーター(MFM)が属する質量流量計以外の各種流量計(体積流量計)を取り上げて解説を行っています。

 

流量計とは?

流量を測定する目的で使用されるのが「流量計」ですが、そもそも流量自体は物理標準ではないので、流れを支配する一つ、または複数のパラメータを計って、そこから流量値へ変換するものが「流量計」だと言えます。

目的に応じた流体に適応でき、適切な流量域をカバーできる流量計を選択することが、正しい流量計測&測定の第一歩となります。

JISを紐解くと多種多様な流量計の定義があります。(下図)

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面積式流量計(Variable area flowmeters)、
パーシャルフリューム式流量計(Parshall flume type flowmeters)、
電磁式流量計(Electromagnetic flowmeters)、
渦式流量計(Vortex flowmeters

・・・等々多くの流量計があるのですが、ここであれ?っと思うのは、熱式流量センサーを搭載したMFCMFM いわゆるマスフローと普段我々が呼称している流量計の記述がないことです。
この話を講習会などでお話しすると、皆さん不思議な顔をされます。

実はマスフローはSEMI standardのみがその拠り所なのです。


「えっ?うちは半導体産業じゃないけど、MFCをたくさん使ってるよ!」

と、おっしゃる読者は結構おられるのではないでしょうか?

まぁ、だからこそ、このような連載をDecoが続けさせて頂けるのですが・・・ 

 

それはさておき流量計の種類は非常に多い事がわかりますね?

上述を含めても10種類は下らないでしょう。(下図)

 
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なぜこれほどの種類の流量計が必要なのでしょうか?

それは測定対象である流体の状態(液体、気体、蒸気)と種類(空気、窒素、酸素・・・)、流量レンジと配管径、圧力レンジ、使用温度、電源仕様、信号仕様、そして法規関連(安全保障貿易管理法令、高圧ガス保安法、防爆構造)・・・という様々な条件をすべてカバーできる“万能流量計”が存在していないからなのです。


では、次回から個々の流量計の代表例を取り上げて解説をしていきましょう。

 

【あなたにMFCの夜が来る~真・MFC千夜一夜物語】by Deco EZ-Japan