マスフローコントローラ(以下MFC)の歴史に関して振り返っていきたいと思います。
DecoがMFCメーカーから離れ、一介のコンサルタント、エヴァンジェリストとして働き始めてからもう10年になります。
これを期にMFCという不思議な工業製品の技術動向をその歴史を俯瞰しながらまとめて行きたいと思っています。

MFCの熱式流量センサーのオリジンであると思われる熱線式風速計のお話をさせて頂いてます。
なみにこの熱線式風速計の原理を直接流量計に応用した製品として、インサーション型熱式流量センサーが挙げられます。
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分流構造を持つ巻線型熱式流量センサーと比較してスルーフロー構造であることが幸いしいて、圧力損失増大、異物侵入や、圧力条件の変動での分流比が崩れることによる再現性能低下という問題が生じにくい特性があります。
つまり、少々汚れた流体を流す用途や、低圧力損失で大流量を流す用途には最適な方式なのです。

逆にこの方式の弱点としては、流体を選ぶ点が挙げられます。
特に軽い水素やヘリウムの場合、測定構造が仇となり、センサーが設置されている流路中心部をパスしていくような必ずしも適切な流れを生成できないので流量測定が正確に行えないことが挙げられます。
1990年代以前は、アナログ回路でしか直線性補正を行えなかった為、直線性が悪いこと=レンジアビリティが狭い事も問題視されていましたが、現在ではデジタルによる多点補正機能の採用で、実用上では大きな問題が無くなっていいます。
ただ、それでも分流型熱式流量センサーを搭載した流量計よりは、ラフな精度仕様で定義されることが多いのは確かです。
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インサーションタイプ熱式流量センサー搭載 MASS-STREAMシリーズ
出典:ブロンコスト・ジャパン(株)

あなたにMFCの夜が来る~真・MFC千夜一夜物語】by Deco EZ-Japan