ブロンコスト・ジャパン(株)セールスブログにMEMSベースのコリオリ式マスフローメータ・コントローラ という記事がアップされていますので、ご紹介です。

新型MEMSセンサータイプのコリオリ式マスフローメータ(MFM)&コントローラ(MFC)で更なる微小流量対応(デモモデルで、0.01~2 g/h)のガスおよび液体の測定・制御を達成したと報じられています!
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【MEMSタイプコリオリ式マスフロー デモモデル 出典:ブロンコスト・ジャパン(株)】

これはどこの追従も許さないコリオリ式流量計としての最小流量記録をブロンコスト自身が塗り替えたことになり、すごいことだとDecoは思います。
ブロンコストでは今までもコリオリ式MFM&MFCの微小流量化に注力していて、今までで最小F.S.流量5g/hを実現していました。(流量制御範囲がMFMで0.05~5g/h MFCで0.1~5g/h)

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【miniCORI-FLOW M12 & ML120 出典:ブロンコスト・ジャパン(株)】

従来のminiCORI-FLOW M12 & ML120 では細径のSUSチューブをまげてコリオリセンサーを形成していたのですが、コリオリの原理上、更なる微小流量化を求めてSUS管を更に細くしていくのは限界があるとの判断から、今回初めてMEMSでコリオリセンサーを構築するという新機軸を採用し、F.S.2 g/hという世界を実現したようです。


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【MEMSタイプコリオリ式流量センサー 出典:ブロンコスト・ジャパン(株)】

早くデモ機が日本に来るといいな~
早く見たいな~と思うのはDecoだけではないと思います。

ブロンコストからの続報を首を長くして待ちたいですね!


※本記事はブロンコストのブログ"Miniaturization to the extreme: micro-Coriolis mass flow sensor"の内容、写真を引用しています。


EZ-Japan MFCニュース by Deco