EZ-Japan BLOG since 2017 真・MFC千夜一夜物語

EZ-Japanブログは、真・MFC千夜一夜物語という流体制御機器=マスフローコントローラ(MFC)の解説記事をメインに、闘病復帰体験、猫達との生活が主なコンテンツです

EZ-Japan MFCニュース

【お知らせ】EZ-Japan HPのバージョンアップ 

好評いただいていおりますEZ-Japan HP を2月中旬をめどにリニューアルしようと作業中です。

その内容としては、あくまで今までの内容の延長線上になるのですが、皆様からのご要請に沿ったパワーアップをしてまいります。

・製品紹介の強化1 防爆規格マスフローページのリニューアル
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・製品紹介の強化2 MASS-STREAM 新バージョンのご紹介
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・新コーナー マスフロー講演会のご案内
ブログに次ぐEZ-Japan の看板コンテンツに成長しつつある”マスフロー講演会”のご紹介です。
あなたの会社、学校にDecoが伺い、マスフローに関して熱く語ります。
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半導体製造ガス流量ワーキンググループ(SGF-WG)のご紹介
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お楽しみに!

EZ-Japan 代表 黒田 誠(Deco)

今週はセミコン・ジャパン2019 と KEIO TECHNO-MALL 2019 です!

*今回に限り月曜の朝更新です・・・

今週
12/11(水)-13(金) 10:00~17:00 東京ビッグサイトで催される セミコン・ジャパン2019 のオランダ大使館ブース” Holland High Tech Pavilion " (オランダ ハイテク パビリオン ブース 西ホール No. 5148に、オランダのマスフローメーカーとしてブロンコスト・ジャパン(株)さんが出展されます!
今年は例年開催されている東ホールではないので注意して下さいね!

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<出展:SEMIジャパン>

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mini CORI-FLOW ML120 <出典:ブロンコスト・ジャパン(株)>

Decoは今回は、企業様での講習会講師を務めたりや、産総研臨海でのSGF-WG04、そして下記の KEIO TECHNO-MALL 2019にも参加しますので会場に居られる時間はあまりないかもしれませんが・・・
できる限りブースに顔を出すつもりです。


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今年も12/13(金) 10:00~18:00 有楽町の東京国際フォーラムでは 第20回 慶應科学技術展 KEIO TECHNO-MALL 2019 が開催されます。

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<出典:KEIO TECHNO-MALL 2018概要リーフレット>

慶應義塾大学 理工学部・理工学研究科の研究成果を広く発信し、共同研究や技術移転など、産官学連携のきっかけとなる出会いの場を提供するイベントです。
出展ブースでは教員の他、各研究室の学生が実物展示やデモンストレーションを通じて、来場者に研究成果のプレゼンテーションを行われます。

JR新橋駅でセミコンの行き来でゆりかもめを利用される方は、お隣りの有楽町駅まで足を延ばして頂けましたら、改札出てすぐです!
今回はDecoは午後、セミコンの帰りに伺う予定です!

皆様、今年も是非お立ち寄りを!

EZ-Japan MFC ニュース by Deco

ブロンコストコリオリMFMが国内防爆規格取得!

ブロンコスト・ジャパン(株)より、同社の耐圧防爆型コリオリ式質量流量計(マスフローメータ)mini CORI-FLOW Ex-d シリーズ が国内の型式検定に合格したとの発表がありました!


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mini CORI-FLOW Ex-dシリーズ  出展:ブロンコスト・ジャパン(株)

「今までも”ブロンコストのマスフローが、TIIS本質安全防爆規格をとったよ!”とDecoさんは言ってませんでした?」というお声も聞こえてきそうですが・・・
それはガス対象の熱式流量センサーを搭載したEX-FLOWシリーズの事ですね?
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EX-FLOWシリーズ 出展:ブロンコスト・ジャパン(株)

今回の防爆構造対応モデルはコリオリ式流量センサーを搭載したマスフローメーターなのです。
防爆規格も本質安全防爆構造ではなく、耐圧防爆ケース(Ex d box)にmini CORI-FLOWが収納され、全ての電気配線は、耐圧防爆ケースに直結された電気ハウジング部のネジ込み式のターミナルにより接続される形になり、企画としては、耐圧防爆構造(db) 安全増防爆構造(ed) になります。

検定合格証はこちらからDL下さい↓
防爆構造電気機械器具型式検定合格証 

発火度、爆発等級及び機器保護レベルは、国内防爆 (IIB T6 Gb) 、IEC Ex認証 (Ex d e IIB T6 Gb) 、およびATEX認証 (II 2 G Ex d e IIB T6 Gb)  となります。

【参考資料1】
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【参考資料2】
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最小流量レンジ:0.1...5 g/h から 最大流量レンジ:0.3...30 kg/h 
微小流量の液体とガスの測定にご利用頂けます。

詳細はEZ-Japanまでお問い合わせを!

EZ-Japan MFCニュース by Deco

Decoの選ぶサーマル マスフローコントローラの究極形 ~ EL-FLOW Prestige

Decoの選ぶサーマル(熱式)マスフローメータ(MFM)&マスフローコントローラ(MFC)の究極形は、ブロンコスト(Bronkhorst HIGH-TECH B.V.) の EL-FLOW Prestigeシリーズ です。

その EL-FLOW Prestigeシリーズがバージョンアップをするとのニュースが入ってきました。
既に2018年のアップデート内容は、本ブログ記事でお知らせしたとおりなのですが、2019年になって更に隠し玉的な内容があったようです。

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<EL-FLOW Prestige 出典:ブロンコスト・ジャパン(株)>

今までEL-FLOW Prestigeシリーズはマルチガス対応として、25種類のガス種とそれらを最大5種まで任意濃度で混合したガスにガス切り替えが可能なデータを本体に内蔵していました。
これは、FLOW-TUNEというブロンコストが配布しているソフトを使用して、windows-PCからユーザーサイドで簡単に切り替えが可能な優れものです。

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<FlowTune 画面 出典:ブロンコスト・ジャパン(株)>

今回のバージョンアップで、EL-FLOW Prestigeシリーズは、その内蔵しているマルチガスデータを拡充、好評いただいているオンライン・マスフロー及び物理量計算ソフトである FLUIDAT on the Net にアップされているガス種全てを網羅するという、素晴らしい進化を遂げるというのです!

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<FLUIDAT on the Net 画面 出典:ブロンコスト・ジャパン(株)>

これは素晴らしいことです。
なぜならDecoが選ぶ究極のマスフローであるEL-FLOW Prestigeシリーズは、本来熱式流量計であるマスフローのコンバージョンファクター(CF)が、圧力・温度・流量レンジ・分流構造により影響を受けてしまい、一種類のガスに対して一対一ではなく、一対多、つまりマルチCFであるという弱点をカバーすべく、ハード側で測定した温度、圧力条件で自動補正してくれるグレードを有する、真の意味での実ガス流量に限りなく近い流量測定・制御が可能なマスフローだったからです。

そのマスフローにFLUIDAT on the Net の800種を超えるデータが搭載されるとすれば・・・まさに鬼に金棒!真の究極にまた一歩近づいた姿に進化することになるからです。

導入開始時期など詳細はこれから発表されると思いますが、楽しみにして待ちたいですね!

EZ-Japan MFCニュース by Deco

EZ-Japan MFCニュース “半導体製造ガス流量ワーキンググループ(SGF-WG)の説明会に参加しました”


さる1/11(金) 国立研究開発法人 産業技術総合研究所(産総研) 臨海副都心センター 別館11階 会議室2(〒135-0064 東京都江東区青海2-3-26)にて、半導体製造ガス流量ワーキンググループ(SGF-WG)の説明会が行われ、参加してきました。

 

産総研 NMIJ (計量標準総合センター:National Metrology Institute of Japan の略称) 流量計測クラブの傘下のWGとなるのですが、設立の背景に関して簡単にご説明しましょう。

 

半導体製造プロセスにおいて、マスフローコントローラ(MFC)の実ガス流量精度の向上について、エンドユーザーや装置メーカーから根強い要望があります。

それはDecoが現在、本ブログの連載記事“真・MFC千夜一夜物語”で取り上げている校正ガスと実ガスとの変換係数であるコンバージョンファクター(CF)の問題に関わっています。
(詳しくは真・MFC千夜一夜物語 第264話 コンバージョンファクターは1つではない その1
  からお読みください。)


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近年、SEMI Standardの活動として、Live Gas Task Force を立上げ、実ガス流量の測定方法やCFの決定方法の標準化に向けたラウンドロビンテスト等を行ってきました。

SEMIでのTask Force活動は終了したのですが、継続して標準化活動を行っていく必要性を感じた有志により、SGF-WGの発足が検討され、今回その説明会が行われたのです。

Deco SEMIでの活動の途中から参画していましたが、もちろんこのSGF-WGにも参加させていただき、少しでもお役に立てればと考えております。

 

説明会を見た限り、半導体装置メーカーさん、材料メーカーさん、そしてもちろんMFCメーカーさんからも積極的に参加を検討頂いているようです。

興味をお持ちになったMFC関係の方々(メーカー、システムビルダー、エンドユーザー)で参加を希望される方は、産総研 NMIJ 工学計測標準研究部門 気体流量標準研究グループ ご担当:森岡 様 (E-Mail:tssj.morioka@aist.go.jp)、 もしくは本ブログにあるDecoへのメッセージでお問い合わせください。


マスフローのパンドラの箱の一つであるCFと実ガス流量との問題に挑まれる有志はぜひ!

 

【MFCニュース】 by Deco EZ-Japan

 

EZ-Japan(イージージャパン)Deco こと 黒田です。 2014年6月開業です。流体制御機器マスフローコントローラーを中心に”流体制御関連の万(よろず)屋”として情報発信しています。 日本工業出版「計測技術」誌で”マスフロー千夜一夜物語”の連載中です。
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