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EZ-Japanブログは、真・MFC千夜一夜物語という流体制御機器=マスフローコントローラ(MFC)の解説記事をメインに、闘病復帰体験、猫達との生活が主なコンテンツです

EZ-Japan MFCニュース

Decoの選ぶサーマル マスフローコントローラの究極形 ~ EL-FLOW Prestige

Decoの選ぶサーマル(熱式)マスフローメータ(MFM)&マスフローコントローラ(MFC)の究極形は、ブロンコスト(Bronkhorst HIGH-TECH B.V.) の EL-FLOW Prestigeシリーズ です。

その EL-FLOW Prestigeシリーズがバージョンアップをするとのニュースが入ってきました。
既に2018年のアップデート内容は、本ブログ記事でお知らせしたとおりなのですが、2019年になって更に隠し玉的な内容があったようです。

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<EL-FLOW Prestige 出典:ブロンコスト・ジャパン(株)>

今までEL-FLOW Prestigeシリーズはマルチガス対応として、25種類のガス種とそれらを最大5種まで任意濃度で混合したガスにガス切り替えが可能なデータを本体に内蔵していました。
これは、FLOW-TUNEというブロンコストが配布しているソフトを使用して、windows-PCからユーザーサイドで簡単に切り替えが可能な優れものです。

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<FlowTune 画面 出典:ブロンコスト・ジャパン(株)>

今回のバージョンアップで、EL-FLOW Prestigeシリーズは、その内蔵しているマルチガスデータを拡充、好評いただいているオンライン・マスフロー及び物理量計算ソフトである FLUIDAT on the Net にアップされているガス種全てを網羅するという、素晴らしい進化を遂げるというのです!

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<FLUIDAT on the Net 画面 出典:ブロンコスト・ジャパン(株)>

これは素晴らしいことです。
なぜならDecoが選ぶ究極のマスフローであるEL-FLOW Prestigeシリーズは、本来熱式流量計であるマスフローのコンバージョンファクター(CF)が、圧力・温度・流量レンジ・分流構造により影響を受けてしまい、一種類のガスに対して一対一ではなく、一対多、つまりマルチCFであるという弱点をカバーすべく、ハード側で測定した温度、圧力条件で自動補正してくれるグレードを有する、真の意味での実ガス流量に限りなく近い流量測定・制御が可能なマスフローだったからです。

そのマスフローにFLUIDAT on the Net の800種を超えるデータが搭載されるとすれば・・・まさに鬼に金棒!真の究極にまた一歩近づいた姿に進化することになるからです。

導入開始時期など詳細はこれから発表されると思いますが、楽しみにして待ちたいですね!

EZ-Japan MFCニュース by Deco

EZ-Japan MFCニュース “半導体製造ガス流量ワーキンググループ(SGF-WG)の説明会に参加しました”


さる1/11(金) 国立研究開発法人 産業技術総合研究所(産総研) 臨海副都心センター 別館11階 会議室2(〒135-0064 東京都江東区青海2-3-26)にて、半導体製造ガス流量ワーキンググループ(SGF-WG)の説明会が行われ、参加してきました。

 

産総研 NMIJ (計量標準総合センター:National Metrology Institute of Japan の略称) 流量計測クラブの傘下のWGとなるのですが、設立の背景に関して簡単にご説明しましょう。

 

半導体製造プロセスにおいて、マスフローコントローラ(MFC)の実ガス流量精度の向上について、エンドユーザーや装置メーカーから根強い要望があります。

それはDecoが現在、本ブログの連載記事“真・MFC千夜一夜物語”で取り上げている校正ガスと実ガスとの変換係数であるコンバージョンファクター(CF)の問題に関わっています。
(詳しくは真・MFC千夜一夜物語 第264話 コンバージョンファクターは1つではない その1
  からお読みください。)


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近年、SEMI Standardの活動として、Live Gas Task Force を立上げ、実ガス流量の測定方法やCFの決定方法の標準化に向けたラウンドロビンテスト等を行ってきました。

SEMIでのTask Force活動は終了したのですが、継続して標準化活動を行っていく必要性を感じた有志により、SGF-WGの発足が検討され、今回その説明会が行われたのです。

Deco SEMIでの活動の途中から参画していましたが、もちろんこのSGF-WGにも参加させていただき、少しでもお役に立てればと考えております。

 

説明会を見た限り、半導体装置メーカーさん、材料メーカーさん、そしてもちろんMFCメーカーさんからも積極的に参加を検討頂いているようです。

興味をお持ちになったMFC関係の方々(メーカー、システムビルダー、エンドユーザー)で参加を希望される方は、産総研 NMIJ 工学計測標準研究部門 気体流量標準研究グループ ご担当:森岡 様 (E-Mail:tssj.morioka@aist.go.jp)、 もしくは本ブログにあるDecoへのメッセージでお問い合わせください。


マスフローのパンドラの箱の一つであるCFと実ガス流量との問題に挑まれる有志はぜひ!

 

【MFCニュース】 by Deco EZ-Japan

 

Holland High Tech Pavilion Seminar (オランダ ハイテク セミナー)

本日はセミコン・ジャパン2018 2日目です。
ブログも号外です!
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今回のオランダハイテクパビリオン(東ホール1 1602)の参加企業の一員として、ブロンコスト・ジャパン(株)さんの企業紹介がありますので、セミコン会場にお越しになるようでしたら、是非ご来場ください。

Holland High Tech Pavilion Seminar (オランダ ハイテク セミナー)

開催時刻:12/13(木) 15:00 ~15:50
  
セミナー会場:Tech SPOT WEST 東ホール1

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Decoは所用で参加できませんが、ご来場の方はふるってご参加の程、宜しくお願いいたします。

EZ-Japan MFC ニュース by Deco

今週はセミコン・ジャパン2018 と KEIO TECHNO-MALL 2018 です!

今週12/12(水)-14(金) 10:00~17:00 東京ビッグサイトで催される セミコン・ジャパン2018 のオランダ大使館ブース” Holland High Tech Pavilion " (オランダ ハイテク パビリオン 東ホール1、ブース No. 1602)に、オランダのマスフローメーカーとしてブロンコスト・ジャパン(株)さんが出展されます!

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<東京ビックサイト 写真は昨年のものです>

ブロンコスト・ジャパン(株)の 展示物は、コリオリ式マスフロー ” mini CORI-FLOWシリーズ ” です。

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<出典:ブロンコスト・ジャパン(株)>

2日目の12/13(木) 15:00 ~15:50 には  Holland High Tech Pavilion Seminar (オランダ ハイテク セミナー  セミナー会場:Tech SPOT WEST 東ホール1)で今回の参加企業の一員として、ブロンコストさんの企業紹介がありますので、セミコン会場にお越しになるようでしたら、是非ご来場ください。

Decoも、初日の午後と、最終日午前中はセミコンに行きますので、ちょくちょくブースにお邪魔していると思います。

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また、12/14(金) 10:00~18:00 有楽町の東京国際フォーラムでは 第19回 慶應科学技術展 KEIO TECHNO-MALL 2018 が開催されます。

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<出典:KEIO TECHNO-MALL 2018概要リーフレット>

慶應義塾大学 理工学部・理工学研究科の研究成果を広く発信し、共同研究や技術移転など、産官学連携のきっかけとなる出会いの場を提供するイベントです。
出展ブースでは教員の他、各研究室の学生が実物展示やデモンストレーションを通じて、来場者に研究成果のプレゼンテーションを行われます。

セミコンの開催されるビッグサイトはJR新橋駅でゆりかもめを利用される方も多いかと思いますが、お隣りの有楽町駅まで足を延ばして、改札出てすぐです!
今回はDeco午後から、セミコンの帰りに伺う予定です!

皆様、是非お立ち寄りを!

EZ-Japan MFC ニュース by Deco

第56回燃焼シンポジウムに行ってきました

去る2018/11/14(水)~16(金) 一般社団法人日本燃焼学会主催の第56回燃焼シンポジウムが 大阪府堺/の堺市産業振興センターで開催されました。
場所は南海高野線の中百舌駅と 地下鉄御堂筋線のなかもづ駅からすぐ近くの便利な場所でした。

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早いもので昨年の富山の第55回からもう1年が経過したのですね。
今年も機器展示にはブロンコスト・ジャパン(株)が出展・参加されたので、中日の15日午後からEZ-Japanも応援参加させて頂きました。


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オランダの色であるオレンジの記事に マスフローコントローラ マスフローメータ と大きく書かれているフラッグ?がいいアクセントになっています。
このおかげで「一体ここは何を展示しているのだろう?」というところがクリアになって良いですね。

今回は液体気化ユニット「CEM(Controlled Evaporation and Mixing)システム」の中核をなす気化器”W-101A/W-102A/W-202A”が展示されていました。
CEMシステムは、常圧や真空プロセスに適用可能な革新的液体供給システム(Liquid Dosing System; LDS)です。
*CEMシステムに関して、詳しくは EZ-Japan HPの記事 で・・・

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本ブログではお馴染みの「MASS-STREAMシリーズ」のスケルトンモデルも展示。
*MASS-STREAMに関して 詳しくは EZ-Japan HPの記事 で・・・
 
CTA方式でシンプルなスルーフロー構造であることが一目瞭然です。
来場いただいた方から、「使用している間に生じる、つまりや汚れを目視で確認する為にも、このまま製品化して欲しいね!」という思いもよらないご意見も頂けました。
ある意味、長く使われてきたガラス管の浮子式流量計は、そういったメリットもある訳で、”マスフローはこういうもの”という固定観念が強いDecoには思いつかない事です。
「新鮮で大変面白いご意見を頂けたなぁ」と感謝しております。

懇意にして頂いている研究室の方や、毎年来場いただけている方など、今回で3回目の参加という事もあり、楽しい時間を過ごさせていただけました。

来年は・・・札幌!だそうです。
うーん、さすがにEZ-Japanとして伺えるかは微妙ですが・・・

また、宜しくお願いいたしいます。

【MFCニュース】 by Deco EZ-Japan
EZ-Japan(イージージャパン)Deco こと 黒田です。 2014年6月開業です。流体制御機器マスフローコントローラーを中心に”流体制御関連の万(よろず)屋”として情報発信しています。 日本工業出版「計測技術」誌で”マスフロー千夜一夜物語”の連載中です。
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