EZ-Japan BLOG since 2017　真・MFC千夜一夜物語

毎年書かせて頂いているので、またかよ？とおっしゃる方もおられるでしょうが・・・
人命にかかわる事ですので、しつこく書かせて頂きますね。

4月以降の新年度でマスフローコントローラー(MFC）やマスフローメーター(MFM）を、修理や再校正作業でメーカーに返却される場合、気を付けて頂きたい事があります。
修理依頼品に付けて頂きたいメーカー指定の書式があるとお思いますが、Decoが現役のメーカー時代から、これが記載されていなかったり、不十分なものが散見されます。
特に除染関連、このマスフローにはこういった種類のガスをどれだけ流していて、取り外し後はパージ作業を行ったか？という書式は、日本ではなおざりにされがちです。

たとえばブロンコスト・ジャパン(株)でしたら、除染告知書という書式があり、これが必要事項記載されていない場合、作業には取り掛からないという約束が世界的にあります。



除染告知をおろそかにするという行為は修理内容の確認で双方の時間を浪費するだけでなく、
最悪の場合作業者の健康を損なったり、生命の危険を招くこともあります。

「Decoさん、いくらなんでも大げさでしょう。」と言われるかもしれませんが、マスフローに流される流体は決して安全な空気だけではありません。
特に半導体製造では毒性、可燃性のガス種のオンパレードであり、ppmオーダーで致死量に至るガスもあります。

もう時効だからお話ししますが、20年以上前お客様から返却された窒素のマスフローに塩素が充たされていたことがありました。添付された書類にはどこにも塩素を流したとは書いてなく、パージの項目は「済み」と記載しました。
受け入れ作業で開封したところ、わずかに塩素ガスの匂いがしたので、あわてて除害ボックスに放り込んだのですが、受け入れ担当は気が付くとうっすらと鼻血が出ていたとのことです。

この話を依頼元のお客様にしたところ、「知らない、君たちの受け入れのやり方が杜撰なんだろう。」と言われました。
安全を確保するには、すべてを疑ってかからないといけないのは確かで、受け入れ側にも改めるべき点はありましたが、自分達が使用したプロセスを把握せずに修理に出す”杜撰な人”に言われたくはありませんね。
（因みにその会社は経営のやり方も杜撰だったのか、もう存在していません。）

マスフローの修理や再校正をご依頼頂く際は、以下の事を明確にしましょう。

・依頼者の連絡先
・製造番号
・どのような流体で使用されていたか？
・送る前にどのような洗浄されたか？
・故障内容の詳細（いつから、どこで、どのように不具合が生じているかを詳細に。）
・再校正依頼ならば、出荷にどういったドキュメント（トレーサビリティ体系図等）を付ける必要があるか？

Decoからのお願いでした。

MFC豆知識　by Deco　EZ-Japan

2023年　明けましておめでとうございます。
お陰様で年末年始の関東地方は晴天に恵まれました。
しかしながら、北日本を始め各地で大雪による災害が発生しているようです。
被災されました方々には、謹んでお見舞い申し上げます。

はい、久しぶりのマスフロー徒然日記です。
日頃は技術的なお話をメインで、皆様のお悩みにお応えしてきましたが、新型コロナ感染症以降のここ数年、皆さんを悩ませている問題はお手元のマスフローのゼロドリフトよりも、新規発注分の納期ですよね？

以前はマスフローコントローラー（MFC）の納期は4～8週間くらいでした。
半導体投資が盛んになるとそれが倍くらいになったりして・・・
そもそもMFCはガス、流量、継手等を指定頂いて製造する受注生産品なので、これは仕方ないかなぁというところなのですが・・・

ところが最近のMFCの納期は、そんなレベルではありません。
「受注後24週間です。」
と回答して「まだ早いね。」とお客様に返されるくらいなのです。
24週間＝半年ですが、下手すると7 or 8か月、仕様によっては1年を超えるパターンもあるのです。

「Decoさん、最近のMFCの納期はなぜこんなに長いの？」
こういった問い合わせを頂きます。

まず、トリガーとなったのは、皆様もニュースで見聞きされている半導体、電子部品不足です。
MFCはブロック、継手、バルブのような機械部品とセンサー、基板のような電気部品で構成されています。
その為、多種多様な部品をストックしておかなければなりません。
特に電子部品は調達された部品状態では意味が無いので、業者さんにお願いして基板に実装してもらって納品されます。
まずはここが止まってしまったのです。
MFCに必要な多種多様な電子部品の一つでもショートすれば基板の実装はできません。

これが不幸の始まりだったのですが、更に今度は基板や配線コネクターに用いる樹脂部品（絶縁用）も入らなくなってしまいました。
MFCで良く使用されているD-sub9コネクターが欠品しているというのは、Decoも初めての経験でした。
MFCの基板だけでなく、このコネクターが入らないが為に接続ケーブルも入ってこないという現象も起きてしまいました。
更に表示設定器も電子部品のショートで納期がかるようになってしまったものもあります。
つまりMFCは電気、機械様々な部品で構成されていたことが、アダとなったのです。

これがMFCだけの長納期化でしたら、マスフローメーカーの営業さんも精神的にやられてしまったでしょうが、不幸なことに装置側でMFCを制御するPLC等の機器や、とうとうリレーまでも入ってこない状態になってしまったので、そこまでのことは無かったのですが、やはりお客様に申し訳ないなぁという気持ちで営業を続けるのは辛いものだと思います。

メーカー部材の確保に努力していますし、部品メーカー、材料メーカーさんも同様だと思います。
あとしばらく・・・等と根拠のない気休めを申し上げても仕方ないので、今後しばらくは今の納期が続く事を前提にMFCの導入や、メンテナンスの計画を立てて頂ければと思います。

本当にお客様にはご迷惑をお掛けしておりますが、何卒よろしくお願いいたします。

マスフロー徒然日記　by　EZ-Japan Deco

マスフローメーター（MFM)やマスフローコントローラー(MFC：MFM&MFCを総称してマスフロー)は流量計の中でも質量流量計に分類されます。