EZ-Japan BLOG since 2017 真・MFC千夜一夜物語

EZ-Japanブログは、真・MFC千夜一夜物語という流体制御機器=マスフローコントローラ(MFC)の解説記事をメインに、闘病復帰体験、猫達との生活が主なコンテンツです

Decoのマスフロ徒然日記

出張から帰って参りました!

出張から帰って参りました。

久しぶりに羽田空港から飛行機です。
そうなんです。
メニュエール病を悪化させてから10年以上控えていた飛行機です。

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3年前の心不全からの多臓器不全で危うくあの世に行き掛けたのですが、最新の治療の効果で出張前の血液検査でBNPの値が入院時4000mg/dLを超!から基準値の18.4mg/dLを切り、薬を飲み続けるという条件付きながら健康を取り戻したDecoなのですが、この治療の副産物?でメニエール病の発作からも解放されたのです。
おかげで快適なフライトを楽しんで到着したのは、旭川でした!

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ここで新しい流量に関わる開発を行っているんですね。
残念ながら、まだお見せすることはできませんが、時期が来たら発表させて頂きます。
旭川の優秀なスタッフとミーティングや美味しいものを食べてきましたよ。

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お土産はこれです!
定番のマルセイバターサンドと旭川の元祖お土産という旭豆(オリジナル包装バージョン)!
速くこの出張の成果を皆さんへご報告できるよう、がんばりますね!

では、来週から真・MFC千夜一夜物語を宜しくお願いいたします!

EZ-Japan ”Deco” こと 黒田 誠

マスフロー千夜一夜物語を紹介頂きました

今日はDecoがうれしかったことを書かせて頂きます。

一般社団法人半導体産業人協会さんの会報”Encore” No.123(2024年1月)に(株)堀場エステック フェロー 理学博士 原清明 さんが”マスフローコントローラの技術的発展と動向”を寄稿されたのですが、その中で日本工業種出版(株) ”計測技術”誌上で連載してます”マスフロー千夜一夜物語”をご紹介頂きました!

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計測技術誌 出典:日本工業出版(株)

原さんと言えば、Decoがマスフローの営業としてデビューした頃には、既に業界の雲の上の方のイメージの方でして、当時(株)リンテックの小野弘文社長(現会長)さんから紹介頂き、お会いした時は大変緊張したものでした。
今の業界の若い方にはわかりにくいかもしれませんが、当時の業界には「俺が誰か知らないのか!」的な強面な方が多かったものですから・・・
ところが原さんは紳士的で丁重かつ気さくに駆け出しの若造に声をかけて頂いた記憶があります。
以後、Decoは競合会社の営業の立場でいる事が多かったにもかかわらず、お会いすると必ず声をかけて頂いてました。
昨年のセミコンジャパン2023でお目にかかった際に「マスフローの寄稿文を書いているんだよ。」とおっしゃっていて、「貴方の連載を参考にさせてもらうから。」と!
まさか業界の重鎮からそんな事を言って頂けるとは思わず、驚いて「いやいや、そんな畏れ多いです!」と声を大きくしてしまいましたが、文中でここまで取り上げて紹介頂けるとは感激の極みです。

業界の大先輩も読んで頂いているのだし、ますます頑張って書き続けねばという気持ちと、もっと”書く”というスキルを上げていかねば!という決意を新たにしました。

原さん、ほんとうにありがとうございます。
先達の皆さんが築いてこられたマスフローコントローラという工業製品のお話を、これからも書き連ねて次世代に語り継いでいこうと思っております。

EZ-Japan Decoこと 黒田 誠




MFCとは不思議な機器だと思いませんか?

Decoのマスフロー徒然日記です。
これでもう30年近くこのマスフローコントローラー(MFC)という機器と付き合っているのですが、MFCって不思議な機器だと思うことがあります。

「MFCって流量計ですか?」という質問に対して、「違いますね。」とお答えします。
「MFCって要はバルブだよな?」という投げかけに対しても「違いますね。」とお答えしてます。
後者はDecoの亡くなった親父からの投げかけでした。
実はDecoの父は、船で使われていた大型のバルブの設計者だったんです。
身の丈くらいのサイズの大きなバルブと写真に納まった若き日の親父を見て育ちました。
なので、親父は「なんやかんやいっても、こいつも俺と同じ仕事で飯を食ってるんだ」という思いで、先の言葉を投げてきたんですが、それに理屈で返してしまう優しくない息子でした。

MFCとは流量センサーと流量制御バルブと調整計(PIDコントローラー)を一体にした機器です。
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計装の世界ではこういったオールインワンスタイルで流体制御を行うものは実は稀です。
MFCという存在の方が異端児なんです。
本来流量計とニードルバルブを作業者が目視で流量を読み、手動でニードルバルブを調整していた手動流量制御がこれになります。
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それを自動化したのが、下の図です。
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流量出力が出る流量計に調整計と自動制御弁を組み合わせたスタイルが基本なんですね。
では、MFCがこの3つを一つの器に統合した理由は何でしょう?
それは”大きさ”なんです。
「フットプリントを小さくしたい。」という要求にこたえたわけですが、それはMFCの主戦場である半導体製造装置では非常に重要な要素だったのです。
半導体の製造には危険なガス種が多く、しかもそんなガスを多系統搭載する装置が必要になります。(例えばエッチャーだと1チャンバーに16系統のMFCを接続して、それを4-6チャンバー搭載します。)できるだけリークポイントを少なくするためには一体化が有利です。
そしてそれらをガスボックスに収納して除害システムへ集中排気するレイアウトを取りたいのです。
半導体製造装置で必要な流量レンジが比較的小さいということが幸いし、この統合はうまくいきました。

しかし、この統合を行った故にMFCは非常に独特な機器として、制御屋さんの頭を悩ませる機器になってしまったとも言えるのです。
「あちらを立てれば、こちらが立たず。」なんですねぇ・・・

マスフロー徒然日記 by EZ-Japan Deco













2023年 年の瀬を迎えて・・・

Decoのマスフロー徒然日記です。
2023年も残り1か月を切りました。
皆さんあわただしく、お仕事や学業に励んでおられるのではないでしょうか?
年の瀬に申し訳ないのですが、徒然日記というか、少しDecoの愚痴に付き合って頂けますでしょうか?



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実はDecoにとっての2023年は、知人との永久のお別れが続いた年でした。
Decoも年を取ってきたから当たり前なのですが、今年の特徴はDecoより若い方、または少し年上でもまだまだこれから元気に活躍されそうな方々が、次々と身罷ってしまわれた事です。

ガン、心臓疾患、お別れは突然やってきました。
少し前に普通に仕事の話をしていた人が、「来年は夫婦で遊びに行きますね!」と話していた方が、ある日突然この世からいなくなってしまわれました。

かくいうDecoも今までに二度、一過性脳虚血からの脳梗塞、心不全からの多臓器不全で命を落としかけていますが、ご承知のように不死鳥のように復活できました。
でも、それはやはり運によるものが大きかったのです。
病状の進行がもっと早かったら、よいタイミングで最適な医療対応を提供してもらえなかったら、どうなっていたかはわかりません。

なので、皆さん、身体は大事になさってください。
このブログを読んで頂いている皆さんは、研究心に富み、業務改善に熱心な方々だとDecoは推測しています。
でも、あまり根をつめすぎないで、自分の身体、家族の健康を振り返ってみてくださいね。
仕事は大事ですし、この先の世の中、お金を自分で稼いでおかないと不安だとは思います。
でも、命はもっと大事です。
貴方と貴方の大事な人、貴方を大事に思ってくれている人たちの為にも、貴方の身体に適度なお休みと適切な栄養、そして運動を与えてあげてくださいね。
Decoからのお願いです。
今回はMFCとは関係のないお話でしたが、それではまた!千夜一夜物語でお会いしましょう!

【Decoのマスフロー徒然日記】 by Deco EZ-Japan

なぜ半導体製造装置では多くのMFCが使われているの?

MFC千夜一夜物語のブログの中休み、閑話休題”Decoのマスフロー徒然日記”です。

さて、半導体製造装置向けMFCに関するご質問を最近よく頂きます。
TSMCの熊本進出やRapidusの千歳への投資等、半導体に関する話題が花盛りだからなのかもしれませんね。

でも、このMFC業界や半導体業界は、それ以外の業界の方々にとっては、わかりにくいのかもしれません・・・
Decoのように、ずっとお世話になていると、当たり前でしょ?と思っている事を質問されたりするので新鮮です。

「なぜ半導体製造装置では多くのMFCが使われているの?」という御質問がありました。
この答えはシンプルで、「半導体製造装置の一部では、MFCで流量制御するガスラインが多いから」なのです。
相変わらず身もふたもない回答をしてしまうDecoなのですが、いや、これこそが真実なのです。

半導体製造装置といっても、工程ごとに色んな装置が存在しています。
そして、その全てがMFCを使う訳ではありません。
エッチャー、CVD、拡散、スパッタといったところでしょう。
その中でもエッチャーは色んなガス種を使います。

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注意)上図に記載されたガス種は、あくまでその工程で使われているガスを入れただけです。
特定の装置やプロセスを表したわけではないのでご注意ください。


例えばスパッタとエッチャーでこれくらいガスラインの量が異なったりします。
更に80年代以降、装置の枚葉化(マルチチャンバー化)が進んだので、1装置に複数のチャンバー、例えばエッチャーなら4~6チャンバー搭載されますので、このライン数×チャンバー数のMFCが使われる訳です。
1台装置が売れると、MFCがこの数だけ売れる訳なのです。
美味しい・・・もとい!ありがたいですね。

これはどの分野の装置よりも圧倒的に多いというのが、今まで色々な業界とお仕事をしてきたDecoの感想です。
その辺りのマーケットを含めたお話は、来年くらいには千夜一夜物語で書かせて頂こうかと思っています。お楽しみに!

【Decoのマスフロー徒然日記】 by Deco EZ-Japan
EZ-Japan(イージージャパン)Deco こと 黒田です。 2014年6月開業です。流体制御機器マスフローコントローラーを中心に”流体制御関連の万(よろず)屋”として情報発信しています。 日本工業出版「計測技術」誌で”マスフロー千夜一夜物語”の連載中です。
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