EZ-Japan BLOG since 2017 真・MFC千夜一夜物語

EZ-Japanブログは、真・MFC千夜一夜物語という流体制御機器=マスフローコントローラ(MFC)の解説記事をメインに、闘病復帰体験、猫達との生活が主なコンテンツです

圧力

FLEXI-FLOW Compact “MASS FLOW CONTROL Redefined” 

ブロンコスト(Bronkhorst HIGH-TEC.B.V.  日本法人はブロンコスト・ジャパン(株))の発表した新製品 FLEXI-FLOW Compact に関する続報です。

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FLEXI-FLOW Compact 出典:ブロンコスト・ジャパン(株)

ブロンコストはこの新製品を “MASS FLOW CONTROL Redefined” と呼んでいます。
Redefined は日本語では”再定義”を意味します。
つまり「質量流量制御の再定義」を行う製品だという事でしょうか?
公開されている情報だけでも、以下の特長があります。

・流量センサー、上下流の圧力センサー、温度センサーを搭載し、マルチパラメーターを実現!

・ブロンコストのどの製品よりも高速応答、セトリングタイム150mSec.を達成!

・22種類のガスデーターがメモリーしており、単一もしくはそれらの混合ガスにガス種を切り替え可能なマルチガス対応!

・EL-FLOW Prestige FG-201CVP 並みの温度・圧力によるCF補正機能搭載!

・EL-FLOW Prestige並みの高精度 ±0.5% RD+ ±0.1% FSを実現!

・ファームウエアの切り替えでAPC(Automatic Pressure Controller)としての運用も可能!


FLEXI-FLOW Compactのグレード構成は大きく分けて3種です。

拡張版(Preconfigured Advanced:PA)
4つのレンジ(Full Scale:FS = 0.5/2/5/20 ln/min、窒素ベース)のMFC、ターンダウン1:500、流量+圧力+温度測定

・標準版(Preconfigured Standard:PS) 
4つのレンジ(Full Scale:FS = 0.5/2/5/20 ln/min、窒素ベース)のMFC、ターンダウン1:50、流量+温度測定

・受注生産版(Built-to-Order:BtO)
 MFCとMFM、最小0.5 ln/minから最大20 ln/min(窒素ベース)の間から任意にレンジを選択、ターンダウン1:1000;マルチチャネル版(最大8チャネル)

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マルチチャネル版 出典:ブロンコスト・ジャパン(株)

Decoのお気に入りは、FLEXI-FLOW Compactのカラーリングは鮮やかなオレンジな事です。
オレンジと言えばオランダを表す色ですね!
ここでオレンジという色を選択してきたブロンコストの本気ぶりにDecoのテンションも一気に上がっています。
詳細情報は入手次第、追加告知していきますね!お楽しみに!

EZ-Japan ”Deco””こと 黒田 誠


真・MFC千夜一夜物語 第360話 流量と圧力制御は同時にはできませんよ! その1

このブログの第132夜~133夜でMFCのライバルは?VS APCという解説をしました。
APCとはオートマチックプレッシャーコントローラー (Automatic Pressure Controller)という圧力センサーで測定した信号をベースに、流量制御バルブを可変させて、結果として圧力を制御する機器の事です。
MFC=マスフローコントローラ(Mass Flow Controller)が、流量センサーで測定した流量信号をベースに、流量制御バルブを可変させて、流量制御する機器であり、両者は似て非なるものという解説を行いました。

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しかしながら、その後、PI-MFCとか圧力式フローコントローラーといった製品が世の中に出回った為に、混乱しておられるユーザーさんが多いように見受けます。
 
先日もこのような質問を頂きました。
「1台で圧力と流量で同時に制御ができる製品を紹介して欲しい。」

確かに先日ご紹介したブロンコストの新製品“FLEXI-FLOW”はマルチセンサーを搭載しており、流量/圧力/温度を測定できます。
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他にもMKSさんのPI-MFCはファームウエアの切り替えでAPCにすることもできるようです。
 
でも、間違えてははいけないのは
「流量や圧力はセンサーを積めば測定して出力できますが、制御はどちらかでしかできません。」という事です。

流量制御と圧力制御を切り替える事はある条件内ならば可能です。
ここで言うある条件とは、MFCやAPCに搭載された流量制御バルブのKv値(Cv値)と分解能が許容する範囲内でという意味です。

なぜ同時にできないのか?
答は簡単です。
制御バルブは、流量?それとも圧力?一体どちらの指示を聞けばいいのか?わからなくなってしまうからなんですね。
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以前ご説明したこの図と同じことが、一台の機器の中で起きてしまうからなのです・・・

【あなたにMFCの夜が来る~真・MFC千夜一夜物語】by Deco EZ-Japan

ブロンコストの新製品!FLEXI-FLOW Compact!

4月5日、ブロンコストから新製品の発表がありました!

マスフローコントローラー(MFC)の新製品 "FLEXI-FLOW Compact"です!
まずはこちらの動画をご覧ください。



従来のコンパクトMEMSセンサータイプMFC IQ+FLOW よりは大振りなイメージですが、その分
フルスケール20SLMまで流量レンジを拡張できているようです。(IQ+FLOWは5SLMまで)

従来のEL-FLOWとの比較では、こんなに小さいのです!
(EL-FLOWも巻線型サーマルMFCにしては薄型なので、驚かれていたのですが・・・)
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Compact Multifunctional Mass Flow Instrument for Gases とあるように、MEMSの気体用熱式流量センサーを搭載したMFCでありながら、圧力センサー温度センサーも内蔵しています。
EL-FLOW Prestigeで搭載されたガスの温度・圧力コンディションにより変化するコンバージョンファクター(CF)をOn-boardで搭載したデータベースに基づいて自動補正する機能に用いる事が出来ます。
もちろん圧力センサーと温度センサーの情報を読みだして使う事も可能です。
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通信機能はオプションを装着すればBluetoothにも対応するようです。
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製品型式、仕様は、ブロンコストさんのブログ記事も参照下さい!
久しぶりにワクワクしてきそうな新製品、ブロンコストの FLEXI-FLOW!
興味を持たれたら、EZ-Japan までお問い合わせくださいね!

EZ-Japan ”Deco””こと 黒田 誠


EZ-Japan(イージージャパン)Deco こと 黒田です。 2014年6月開業です。流体制御機器マスフローコントローラーを中心に”流体制御関連の万(よろず)屋”として情報発信しています。 日本工業出版「計測技術」誌で”マスフロー千夜一夜物語”の連載中です。
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