さる1/11(金) 国立研究開発法人 産業技術総合研究所(産総研) 臨海副都心センター 別館11階 会議室2(〒135-0064 東京都江東区青海2-3-26)にて、半導体製造ガス流量ワーキンググループ(SGF-WG)の説明会が行われ、参加してきました。

 

産総研 NMIJ (計量標準総合センター:National Metrology Institute of Japan の略称) 流量計測クラブの傘下のWGとなるのですが、設立の背景に関して簡単にご説明しましょう。

 

半導体製造プロセスにおいて、マスフローコントローラ(MFC)の実ガス流量精度の向上について、エンドユーザーや装置メーカーから根強い要望があります。

それはDecoが現在、本ブログの連載記事“真・MFC千夜一夜物語”で取り上げている校正ガスと実ガスとの変換係数であるコンバージョンファクター(CF)の問題に関わっています。
(詳しくは真・MFC千夜一夜物語 第264話 コンバージョンファクターは1つではない その1
  からお読みください。)


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近年、SEMI Standardの活動として、Live Gas Task Force を立上げ、実ガス流量の測定方法やCFの決定方法の標準化に向けたラウンドロビンテスト等を行ってきました。

SEMIでのTask Force活動は終了したのですが、継続して標準化活動を行っていく必要性を感じた有志により、SGF-WGの発足が検討され、今回その説明会が行われたのです。

Deco SEMIでの活動の途中から参画していましたが、もちろんこのSGF-WGにも参加させていただき、少しでもお役に立てればと考えております。

 

説明会を見た限り、半導体装置メーカーさん、材料メーカーさん、そしてもちろんMFCメーカーさんからも積極的に参加を検討頂いているようです。

興味をお持ちになったMFC関係の方々(メーカー、システムビルダー、エンドユーザー)で参加を希望される方は、産総研 NMIJ 工学計測標準研究部門 気体流量標準研究グループ ご担当:森岡 様 (E-Mail:tssj.morioka@aist.go.jp)、 もしくは本ブログにあるDecoへのメッセージでお問い合わせください。


マスフローのパンドラの箱の一つであるCFと実ガス流量との問題に挑まれる有志はぜひ!

 

【MFCニュース】 by Deco EZ-Japan