EZ-Japan BLOG since 2017　真・MFC千夜一夜物語

ブロンコスト・ハイテック（Bronkhorst High-Tech B.V.)は、EUでトップ、世界でも5本の指に入るマスフローコントローラ(MFC）、マスフローメータ（MFM)メーカーです。
ブロンコストの特長的なところは、マスフロー(MFC,MFMの総称）を製造するだけではなく、校正事業者としての側面もある事です。

しかもブロンコスト校正センター(Bronkhorst Calibration Centre; BCC)はオランダ認証機関(RvA)によりISO/IEC 17025:2017の認定を受けており、認証番号はK 127です。

【出典：ブロンコスト・ジャパン(株)】

BCCの品質保証(QA)システム、校正方法、技術的能力が検査され、監査され、必要なすべての要件を満たしていることが証明されています。

＊ISO/IEC 17025に関して

試験所・校正機関から出される試験結果、校正証明書が、「本当に正しいものなのか？」という疑問に対して、彼らが本当に正しい数値を出す能力があるかどうかを証明する国際規格がISO/IEC17025です。
試験所・校正機関の能力と品質を確認するには欠かせない規格として、支持されています。

ブロンコストは1981年の創業以来の長年に渡るガス用マスフロー（質量流量）・ボリュームフロー（体積流量）校正業務の経験をもとに、BCCを設立しました。

【出典：ブロンコスト・ジャパン(株)】

＊国際MRAに関して
オランダのRvAと日本のNITEとの間には、国際MRA（Mutual Recognition Arrangement）という多国間の相互承認があります。
国際MRA対応認定を受けている校正機関の出した校正結果＝校正証明書は、相互に同等な証明書として扱う事が出来ます。
そのベースになるのが、ISO/IEC 17025なのです。
ISO/IEC17025を取得していることが、国際MRAを確かなものとすると言えるでしょう。

BCCは先ず2010年にガス流量校正サービス(調整を含む)の認定を得、流量範囲0.15 mln/min～6200 ln/minにおいて、新規および既存のブロンコスト製マスフロー及び校正装置の校正業務をカバーしました。
2014年にBronkhorst校正センターは新しい場所に移り、作業スペースが拡張されまたことにより、2015年にはブロンコストのコリオリ式マスフローメータ・コントローラmini CORI-FLOWの流量範囲1～200 g/h, 圧力メータ・コントローラEL-PRESSの圧力範囲2.5 kPa～40 MPaの校正に対応致しました。

現在は流量(気体、液体)圧力認定校正事業者として、活動しています。
もちろん認定校正事業者ですから、その対象はブロンコスト製マスフローに限らず、BCCは体積流量(気体、液体)メータと他社製マスフローのガス流量校正にも対応しています。

流量計（マスフロー）メーカーであり、かつ校正事業者でもあるということは、それだけ流量の信ぴょう性（トレーサビリティ）に関する真摯な取り組みを行っているメーカーだという事です。
日本ではあまり知られていない事柄なので、今回はピックアップして記事にしてみました。

EZ-Japan　ここでもうひと押し　by　Deco

 もう一つのＭＦＣ千夜一夜物語である日本工業出版さんの「計測技術」誌　2018年3月号（2/25発売)掲載「マスフロー千夜一夜物語＜質量流量計の基礎＞」連載第43回は、マスフローコントローラ(MFC)に比べてマイナーな存在のマスフローメータ(MFM)のアプリケーションに関する解説記事です。

MFC＆MFMの最大のトラブルは、センサーチューブとバイパス(層流素子)の分流比が何らかの原因で初期値より変化することという説明から、実際のアプリケーションでのトラブル事例を二つ見て頂きました。

「じゃあ、どういうマスフローを選べばいいの？分流構造のないマスフローなんてあるの？」というお問い合わせを頂くのですが、現時点でDecoがお勧めしているのは、インサーションタイプの流量センサーを持ち、バイパスレスで全量流量測定を行っているMASS-STREAMシリーズになります。

                     【MASS-STREAM　出典：ブロンコスト・ジャパン(株)】

インサーションセンサーに関して、改めて説明しましょう

このセンサーは一般的なマスフローで使われている熱式流量センサーの、ご先祖に当たる（と、Decoが思っている）熱線式流速計の原理を基にしています。

熱線式“風速”計とは何でしょう？

風速を測定するには代表的なのが、飛行機の機首等についているピトー管です。

飛行機のピトー管は高速飛行時の速度計として使用されています。

（ピトー管の説明は文字数の関係で省きます。）

それに対して熱線式風速計とは、上図にあるように、キングの式を基にした熱線からの放熱量と風速のバランスから流速を導き出す方式です。

熱線式流量計は高いSN比と応答性能を特長としています。

熱線部に細径の白金線等を使い、それを流れ場に金属の支柱で曝し、細線に電流を流し発熱させます。

加熱された金属線は流体の速度が上がれば上がるほど、冷却されますね？

金属は高温となると抵抗値が大きくなる傾向があるので、流速の変化に応じて生じる抵抗値の変化を捉えれば流速を測ることが可能になります。

熱線式というネーミングは、この金属の細線を発熱させることから来ているのですね。

初期の熱線式流速計は、定電流制御でした。

常に一定の電流を流す回路構成の為、熱線の抵抗値が変化したら、その分だけ電流量を変化させます。

これに対して現在では熱線の温度を常に一定にする＝金属線の抵抗値を一定に保つ定温度方式が主流となっています。

回路上は複雑になるが、フィードバック制御のおかげで応答性能が向上する利点が大きいのです。

定温度型熱線式流速計の基本回路は上図のような構成です。

熱線はホイットストンブリッジの抵抗としてバランスをとっている為、ブリッジに加える電流量を変化させることで、常に一定温度に熱線を維持するフィードバック回路となります。

熱線式流速計は流れ場の物性値が一定ならば正しい流速値を示します。

逆に流速が一定ならば物性値の変化を示す為、周囲温度変化には当然左右されます。

この問題には温度補償回路を設けることで対応しています。

ブリッジ回路に温度補償用の測温抵抗体を追加することで、流体の温度変化によって生じる抵抗値変化を用いた温度補償を行っているのです。

熱線式風速計はその性格上、ブリッジ回路から出力される電圧信号と流速の関係は絶対的なものではなく、あくまで相対的なものであり、必ず“校正”が必要になります。

ピトー管等の流体の物性値に左右されない測定式を利用した流速計をリファレンスとして検量線を引いて運用された方が良いのです。

ここまで読んできて、あれっ？と思いませんでしたか？
なんだかマスフローの熱式流量センサーの解説に出てくる文章や単語と似ている箇所がありますよね？
だからこの熱線式風速計が、熱式流量センサーのオリジンだと思えてくるわけです。

次回はこの方式のインサーションセンサーを搭載したMASS-STREAMの解説を行います。

【あなたにＭＦＣの夜が来る～真・ＭＦＣ千夜一夜物語】by Deco　EZ-Japan