EZ-Japan BLOG since 2017

EZ-Japanブログは、真・MFC千夜一夜物語という流体制御機器=マスフローコントローラ(MFC)の解説記事をメインに、闘病復帰体験、猫達との生活が主なコンテンツです

MEMS

ブロンコスト 新製品と新技術発表!

ブロンコスト・ジャパン(株) セールスブログ と Bronkhorst High-Tech B.V. のブログから新製品と新技術の話題を2点ピックアップしてみましょう。

まずは ブロンコスト/マスフローのブログ から MASS-STREAMの新ラインナップがどうやら出てきそうな気配です。
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【出典:ブロンコスト・ジャパン(株)】

今まではD-6380 AIR換算 フルスケール 5,000ln/min まででしたが、新たにD-6390の写真が発表されています。
正式発表はまだですが、9,000ln/minまでフルスケールが大きくなりそうです。


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【出典:ブロンコスト・ジャパン(株) ブロンコスト/マスフローのブログより写真転載】

更にBronkhorst High-Tech B.V. =オランダ本社 のブログ ”NEW FLOW TECHNOLOGIES USING INTEGRATED SENSOR FUNCTIONALITY”では、これは面白そうなセンサーの記事が発表されていました。

MEMSでコリオリ式流量センサーを着くていますよというお知らせは、前回3/6の本ブログ記事で取り上げていますが、実はそれはほんの一部に過ぎなかったようです。
MEMSにするメリットは生産性を上げること、品質を安定させる事がよく話題になるのですが、流量センサーというニッチな世界ではワールドワイドでもその需要量が知れていて、そこが困りものでした。
今回の試みのように、むしろMEMSにすることによってハイブリッドセンサー=マルチセンサーにしていく多機能化への流れは、非常に意味のある事かと思われます。

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【出典:Bronkhorst High-Tech B.V. ”NEW FLOW TECHNOLOGIES USING INTEGRATED SENSOR FUNCTIONALITY” March 20, 2018 写真転載】

これからの動向を本ブログでもお知らせしていきたいと思います。

EZ-JAPAN MFCニュース BY DECO


ブロンコスト・ジャパン(株) 更なる微小流量コリオリ式マスフローを発売へ!

ブロンコスト・ジャパン(株)セールスブログにMEMSベースのコリオリ式マスフローメータ・コントローラ という記事がアップされていますので、ご紹介です。

新型MEMSセンサータイプのコリオリ式マスフローメータ(MFM)&コントローラ(MFC)で更なる微小流量対応(デモモデルで、0.01~2 g/h)のガスおよび液体の測定・制御を達成したと報じられています!
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【MEMSタイプコリオリ式マスフロー デモモデル 出典:ブロンコスト・ジャパン(株)】

これはどこの追従も許さないコリオリ式流量計としての最小流量記録をブロンコスト自身が塗り替えたことになり、すごいことだとDecoは思います。
ブロンコストでは今までもコリオリ式MFM&MFCの微小流量化に注力していて、今までで最小F.S.流量5g/hを実現していました。(流量制御範囲がMFMで0.05~5g/h MFCで0.1~5g/h)

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【miniCORI-FLOW M12 & ML120 出典:ブロンコスト・ジャパン(株)】

従来のminiCORI-FLOW M12 & ML120 では細径のSUSチューブをまげてコリオリセンサーを形成していたのですが、コリオリの原理上、更なる微小流量化を求めてSUS管を更に細くしていくのは限界があるとの判断から、今回初めてMEMSでコリオリセンサーを構築するという新機軸を採用し、F.S.2 g/hという世界を実現したようです。


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【MEMSタイプコリオリ式流量センサー 出典:ブロンコスト・ジャパン(株)】

早くデモ機が日本に来るといいな~
早く見たいな~と思うのはDecoだけではないと思います。

ブロンコストからの続報を首を長くして待ちたいですね!


※本記事はブロンコストのブログ"Miniaturization to the extreme: micro-Coriolis mass flow sensor"の内容、写真を引用しています。


EZ-Japan MFCニュース by Deco

EZ-Japan(イージージャパン)Deco こと 黒田です。 2014年6月開業です。流体制御機器マスフローコントローラーを中心に”流体制御関連の万(よろず)屋”として情報発信しています。 日本工業出版「計測技術」誌で”マスフロー千夜一夜物語”の連載中です。
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