サーマル(熱式)マスフローメーター(MFM)&マスフローコントローラー(MFC)で断トツで小型なのがブロンコスト・ハイテックIQ+FLOWシリーズ です。
写真の傍らに置いた五円玉と比較して頂ければ、その大きさがご理解いただけると思います。
Bronkhorst13

出展:ブロンコスト・ジャパン(株)  / 撮影:EZ-Japan
IQ+FLOWシリーズは単体でもコンパクトですが、OEM顧客(装置搭載用に大きなロットで定期購入頂けるお客様)向けにはマニフォールド・ソリューションも提供しています。

161205_05
出展:ブロンコスト・ジャパン(株)

 上の写真のようなマニホルド一体型でMFCを3ライン連結してみたり、MFCとAPCやシャットオフバルブ、マニホルドを組み合わせた本格的なガスシステムを最小限のフットプリントで再現することができるのです。
利点はそれだけでなく、配管の無い一体構成により、リークポイントの削減や、トップマウント構造でメンテナンスが容易であったり、納品時に工場での動作テスト済みの為、組み立てや調整作業が無くプラグ&プレイで御使用いただけるますので工数削減にも貢献できます。


それに対して一般的に購入頂けるIQ+FLOWの継手は1/8“ODコンプレッション継手(巷では1/8”SWLと呼称されています。)、1/16“ODコンプレッション継手(1/16”SWLと呼称)、もしくは継手無し(本体には10-32 UNF メネジが切ってあります。)です。
最後の10-32 UNF メネジ仕様と言われても、ピンときませんよね。
下図にあるように、あまり日本ではメジャーではありませんが、10-32UNFに接続できる継手はあります。
 220113_01
折角、コンパクトになったのだから、金属継手ではなくて、ワンタッチ継手がいいなぁという方の為には、こういった組み合わせがあります。
Bronkhorst14
出展:ブロンコスト・ジャパン(株)  / 撮影:EZ-Japan

 SMC株式会社さんの継手にインチサイズなら10-32UNFネジにつなげる金属ワンタッチ継手(パッキン付き)があります。

KQB2H07-32 (1/4”チューブ→10-32UNF) 
KQB2H01-32 (1/8”チューブ→10-32UNF)

いかがですか?
コンパクトマスフローの究極、IQ+FLOWシリーズに興味を持たれたら、EZ-Japanまでご連絡ください!

EZ-Japan ここでもうひと押し by Deco