EZ-Japan BLOG since 2017 真・MFC千夜一夜物語

EZ-Japanブログは、真・MFC千夜一夜物語という流体制御機器=マスフローコントローラ(MFC)の解説記事をメインに、闘病復帰体験、猫達との生活が主なコンテンツです

ThroughChipSensor

【続々報】FLEXI-FLOW Compact “TCS-Technology” 

ブロンコスト(Bronkhorst HIGH-TEC.B.V.  日本法人はブロンコスト・ジャパン(株))の発表した新製品 FLEXI-FLOW Compact に関する続々報です。


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出展:ブロンコスト・ジャパン(株) 日本語訳:EZ-Japan

前回確認中だった流量センサー部の構造に関する資料が一部公開されています。

FLEXI-FLOW Compactに採用された流量センサーは、TCS(Trough Chip Sensor)Technology バイパスフローセンサーと呼称されています。
今までの巻線型とMEMS型を融合して、巻線型センサーの器差の原因であったニクロム線を巻いたセンサーから脱却しつつ、従来培ってきた分流構造でのブロンコストのバイパスに関わるノウハウを活かし、広いレンジで高い精度、繰り返し性を維持できるセンサー技術なのです。
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基本的に、このセンサーは2つの真っ直ぐな窒化ケイ素キャピラリーで構成され、それぞれの直径は100μm、壁の厚さは1μmです。上部の温度依存の金属抵抗器は、ヒーターおよび温度センサーとして機能します。

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出展:ブロンコスト・ジャパン(株)

流路にただMEMSセンサーを置くのではなく、今まで培ってきた巻線型センサーのセンサー部をまさにMEMSで再現する事で、今まで培ってきた分流(バイパス)技術を利用した多彩な流量・圧力レンジでへの拡張性をうかがわせるブロンコストらしいマスフローセンサーだと思います。

まさに温故知新、Decoの好きな言葉です。

EZ-Japan ”Deco””こと 黒田 誠

ブロンコストの新製品!FLEXI-FLOW Compact!

4月5日、ブロンコストから新製品の発表がありました!

マスフローコントローラー(MFC)の新製品 "FLEXI-FLOW Compact"です!
まずはこちらの動画をご覧ください。



従来のコンパクトMEMSセンサータイプMFC IQ+FLOW よりは大振りなイメージですが、その分
フルスケール20SLMまで流量レンジを拡張できているようです。(IQ+FLOWは5SLMまで)

従来のEL-FLOWとの比較では、こんなに小さいのです!
(EL-FLOWも巻線型サーマルMFCにしては薄型なので、驚かれていたのですが・・・)
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Compact Multifunctional Mass Flow Instrument for Gases とあるように、MEMSの気体用熱式流量センサーを搭載したMFCでありながら、圧力センサー温度センサーも内蔵しています。
EL-FLOW Prestigeで搭載されたガスの温度・圧力コンディションにより変化するコンバージョンファクター(CF)をOn-boardで搭載したデータベースに基づいて自動補正する機能に用いる事が出来ます。
もちろん圧力センサーと温度センサーの情報を読みだして使う事も可能です。
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通信機能はオプションを装着すればBluetoothにも対応するようです。
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製品型式、仕様は、ブロンコストさんのブログ記事も参照下さい!
久しぶりにワクワクしてきそうな新製品、ブロンコストの FLEXI-FLOW!
興味を持たれたら、EZ-Japan までお問い合わせくださいね!

EZ-Japan ”Deco””こと 黒田 誠


EZ-Japan(イージージャパン)Deco こと 黒田です。 2014年6月開業です。流体制御機器マスフローコントローラーを中心に”流体制御関連の万(よろず)屋”として情報発信しています。 日本工業出版「計測技術」誌で”マスフロー千夜一夜物語”の連載中です。
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